1¡¢Ê²Ã´Êǵç×Ó̽ÕëÏÔ΢ÆÊÎöÒÇ
µç×Ó̽ÕëÏÔ΢ÆÊÎö£¨EPMA = Electron Probe Microanalysis£©£¬È«³Æ£ºµç×Ó̽ÕëxÉäÏßÏÔ΢ÆÊÎö£¬ÊÇÒ»ÖÖÏÔ΢ÆÊÎöºÍÒòËØÆÊÎöÏàÍŽáµÄ΢ÇøÆÊÎö¡£ÊÊÓÃÓÚÆÊÎöÊÔÑùÖÐϸСÇøÓòµÄ»¯Ñ§ÒòËØ£¬ÊÇÑо¿ÖÊÁÏ×éÖ¯½á¹¹ºÍÔªËØÂþÑÜ״̬µÄÓÐÓÃÒªÁì¡£
µç×Ó̽ÕëÏÔ΢ÆÊÎöÊÇʹÓþ۽¹µç×ÓÊø£¨µç×Ó̽²âÕ룩ÕÕÉäÊÔÑùÍâò´ý²âµÄϸСÇøÓò£¬´Ó¶øÒý·¢ÊÔÑùÖÐÔªËر¬·¢²î±ð²¨³¤£¨»òÄÜÁ¿£©µÄÌØÕ÷XÉäÏß¡£ÓÃXÉäÏßÆ×ÒÇ̽²âÕâЩXÉäÏß£¬»ñµÃXÉäÏßÆ×¡£
ƾ֤ÌØÕ÷XÉäÏߵIJ¨³¤£¨»òÄÜÁ¿£©¾ÙÐÐÔªËض¨ÐÔÆÊÎö
£»Æ¾Ö¤ÌØÕ÷XÉäÏßµÄÇ¿¶È¾ÙÐÐÔªËصĶ¨Á¿ÆÊÎö¡£

µç×Ó̽ÕëÒÇÓɵç×Ó¹âѧϵͳºÍXÉäÏßÆ×ÒÇϵͳ×é³É¡£³ý̽²âϵͳÍâ£¬ÆäËûϵͳÓëɨÃèµç¾µÒ»Ñù£¬³£ÊÊÓÃÒ»Ì××°±¸¡£

2¡¢µç×Ó̽ÕëÏÔ΢ÆÊÎöÒǵĽṹ¼°·ÖÀà
²¨Æ×ÒÇ£ºÊ¹ÓÃÌØÕ÷XÉäÏߵIJ¨³¤²î±ðÀ´Õ¹Æ×£¬ÊµÏÖ¶Ô²î±ð²¨³¤XÉäÏß»®·Ö¼ì²âµÄ²¨³¤É«É¢Æ×ÒÇ£¬¼ò³Æ²¨Æ×ÒÇ£¨wavelength dispersive spectrometer, WDS£©¡£
ÄÜÆ×ÒÇ£ºÊ¹ÓÃÌØÕ÷XÉäÏßµÄÄÜÁ¿²î±ðÀ´Õ¹Æ×£¬ÊµÏÖ¶Ô²î±ðÄÜÁ¿XÉäÏß»®·Ö¼ì²âµÄÄÜÁ¿É«É¢Æ×ÒÇ£¬¼ò³ÆÄÜÆ×ÒÇ£¨energy dispersive spectrometer, EDS£©¡£
£¨1£©²¨Æ×ÒÇ
²¨Æ×ÒÇÖ÷ÒªÓɷֹ⾧Ìå¡¢XÉäÏß̽²âÆ÷ºÍÊý¾Ý´¦Öóͷ£ÏµÍ³×é³É
£»²¨Æ×ÒǵÄÊÂÇéÔ­ÀíÊÇ£ºÆ¾Ö¤²¼À­¸ñ¶¨ÂÉ£¬´ÓÊÔÑùÖз¢³öµÄÌØÕ÷XÉäÏß£¬¾­ÓÉÒ»¶¨¾§Ãæ¼ä¾àdµÄ¾§Ìå·Ö¹â£¬²¨³¤¦Ë ²î±ðµÄÌØÕ÷XÉäÏß½«Óвî±ðµÄÑÜÉä½Ç ¦È¡£ ͨ¹ýÒ»Á¬µØ¸Ä±ä¦È£¬¾Í¿ÉÒÔÔÚÓëXÉäÏßÈëÉäÆ«Ïò³Ê2 ¦ÈµÄλÖÃÉϲ⵽²î±ð²¨³¤¦ËµÄÌØÕ÷XÉäÏßÐźÅ¡£
£¨2£©ÄÜÆ×ÒÇ
ÄÜÆ×ÒÇÖ÷ÒªÓÉXÉäÏß̽²âÆ÷¡¢ Ç°Ö÷ŴóÆ÷¡¢Âö³åÐźŴ¦Öóͷ£µ¥Î»¡¢Ä£Êýת»»Æ÷¡¢¶àµÀÆÊÎöÆ÷¡¢Ð¡ÐÍÅÌËã»ú¡¢ÏÔʾ¼Í¼ϵͳµÈ×é³É£¬ÄÜÆ×ÒǵÄÒªº¦²¿¼þÊÇï®Æ¯Òƹè°ëµ¼Ìå̽²âÆ÷£¬Ï°¹ßÉϼÇ×÷Si£¨Li£©Ì½²âÆ÷¡£ÄÜÆ×ÒǵÄÊÂÇéÔ­ÀíÊÇÒÔµçºÉÂö³å¸ß¶ÈΪÒÀ¾Ý½«Ã¿¸öÂö³å·ÖÀà£¬¹éÈë¾ßÓвî±ð ÄÜÁ¿¿ç¶ÈµÄ¡°µÀ¡±£¬ÒÔ¡°µÀ¡±¼´ÄÜÁ¿Îªºá×ø±ê£¬ÒÔ½øÈë¸Ã¡°µÀ¡±µÄµçºÉÂö³åÊýΪ×Ý×ø±ê£¬»ñµÃÑùÆ·µÄÄÜÆ×ͼ¡£
3¡¢²¨ÆÕÒÇÓëÄÜÆ×ÒǵÄÖ÷ÒªÐÔÄܽÏÁ¿
±í1 ²¨ÆÕÒÇÓëÄÜÆ×ÒǵÄÖ÷ÒªÐÔÄÜ

½ÏÁ¿ÄÚÈÝ	WDS	EDS
ÔªËØÆÊÎö¹æÄ£	4Be£­92U	4Be£­92U
¶¨Á¿ÆÊÎöËÙÂÊ	Âý	¿ì
Çø·ÖÂÊ	¸ß£¨¡Ö5eV£©	µÍ£¨130 eV£©
¼ì²â¼«ÏÞ	10-2£¨%£©	10-1£¨%£©
¶¨Á¿ÆÊÎö׼ȷ¶È	¸ß	µÍ
XÉäÏßÍøÂçЧÂÊ	µÍ	¸ß
·å±³±È	10	1

4¡¢µç×Ó̽ÕëÏÔ΢ÆÊÎöµÄÁ½ÖÖÒªÁì
µç×Ó̽ÕëÆÊÎöÓÐÁ½ÖÖ»ùÌìÖ°ÎöÒªÁ죺¶¨ÐÔÆÊÎöºÍ¶¨Á¿ÆÊÎö¡£
£¨1£©¶¨ÐÔÆÊÎö
¶¨ÐÔÆÊÎöÊǶÔÊÔÑùijһѡ¶¨µã£¨ÇøÓò£© ¾ÙÐж¨ÐÔÒòËØÆÊÎö£¬ÒÔÈ·¶¨µãÇøÓòÄÚ±£´æµÄÔªËØ¡£
¶¨ÐÔÆÊÎöµÄÔ­Àí£ºÓùâѧÏÔ΢¾µ»òÔÚÓ«¹âÆÁÏÔʾµÄͼÏñÉÏÑ¡¶¨ÐèÒªÆÊÎöµÄµã£¬Ê¹¾Û½¹µç×ÓÊøÕÕÉäÔڸõãÉÏ£¬Òý·¢¸ÃµãÊÔÑùÔªËصÄÌØÕ÷XÉäÏß¡£ÓÃXÉäÏßÆ×ÒÇ̽²â²¢ÏÔʾXÉäÏßÆ×£¬Æ¾Ö¤Æ×Ïß·åֵλÖò¨³¤£¨»òÄÜÁ¿£©È·¶¨ÆÊÎöµã£¨ÇøÓò£©ÊÔÑùÖб£´æµÄÔªËØ¡£
XÉäÏߵĶÔÓ¦µÄÄÜÁ¿¿ÉÒÔÌåÏÖΪ£ºE=hv£¬Ê½ÖУºEΪXÉäÏßµÄÄÜÁ¿
£»hΪÆÕÀʿ˳£Êý¡£¿ÉÒÔ¿´³öXÉäÏßµÄÄÜÁ¿ÓëƵÂʱ£´æÖðÒ»¶ÔÓ¦µÄ¹Øϵ£¬ÕâÊÇÄÜÆ×ÒǶ¨ÐÔÆÊÎöµÄ»ùÀ´Ô´Àí¡£
£¨2£©¶¨Á¿ÆÊÎö
Îȹ̵ç×ÓÊøÕÕÉäÏÂ£¬XÉäÏßÆ׿۳ýÅä¾°¼ÆÊýºó£¬¸÷ÔªËØͬÀàÌØÕ÷Æ×Ïߣ¨³£ÓÃK¦ÁÏߣ©µÄÇ¿¶ÈÖµÓ¦ÓëËüÃÇŨ¶ÈÏà¶ÔÓ¦¡£
¼òª½üËÆ£¬Å侰УÕýºóµÄÇ¿¶ÈÕÉÁ¿ÖµI ÓëÆäŨ¶ÈC³ÉÕý±È
Ia£ºIb¡­£ºIi£º¡­Ij£½Ca£ºCb¡­£ºCi¡­Cj
£»ÔªËØI µÄŨ¶ÈCi ¿ÉÓÉÇ¿¶ÈI µÄ¹éÒ»»¯¼ÓÒÔÅÌË㣺
5¡¢µç×Ó̽ÕëÏÔ΢ÆÊÎöµÄÁ½ÖÖɨÃè·½·¨
µç×Ó̽ÕëÆÊÎöÓÐÁ½ÖÖɨÃè·½·¨£ºÏßɨÃèÆÊÎöºÍÃæɨÃèÆÊÎö¡£
£¨1£©ÏßɨÃæÆÊÎö
ʹ¾Û½¹µç×ÓÊøÔÚÊÔÑùÊÓ²ìÇøÄÚÑØһѡ¶¨Ö±Ïߣ¨´©Ô½Á£×Ó»ò½çÃ棩¾ÙÐÐÂýɨÃè¡£
XÉäÏßÆ×ÒÇ´¦ÓÚ̽²âijÒÑÖªÔªËØÌØÕ÷XÉäÏß״̬£¬µÃ³ö·´Ó¦¸ÃÔªËغ¬Á¿×ª±äµÄÌØÕ÷XÉäÏßÇ¿¶ÈÑØÊÔÑùɨÃèÏßµÄÂþÑÜ¡£
XÉäÏßÆ×ÒÇ´¦ÓÚ̽²âδ֪ԪËØ״̬£¬µÃ³öÑØɨÃèÏßµÄÔªËØÂþÑÜͼ£¬¼´¸ÃÏßÉÏ°üÀ¨ÓÐÄÄЩԪËØ¡£
£¨2£©ÃæɨÃèÆÊÎö
¾Û½¹µç×ÓÊø×÷¶þά¹âդɨÃè
£»XÉäÏßÆ×ÒÇ´¦ÓÚ̽²âijһԪËØ ÌØÕ÷XÉäÏß״̬£¬»ñµÃÓÉÐí¶àÁÁµã×é³ÉµÄͼÏñ£¬¼´XÉäÏßɨÃèÏñ»òÔªËØÃæÂþÑÜͼÏñ¡£
ÔªËغ¬Á¿¶à£¬ÁÁµã÷缯¡£Æ¾Ö¤Í¼ÏñÉÏÁÁµãµÄÊèÃܺÍÂþÑÜ£¬È·¶¨¸ÃÔªËØÔÚÊÔÑùÖÐÂþÑÜ£ºÁÁÇø´ú±íÔªËغ¬Á¿¸ß£¬»ÒÇø´ú±íº¬Á¿µÍ£¬ºÚÇø´ú±íº¬Á¿ºÜµÍ»ò²»±£´æ¡£
ȪԴ£ºÐÂÖÊÁÏÔÚÏß